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書誌情報サマリ

書名

図解・薄膜技術 

著者名 日本表面科学会/編
著者名ヨミ ニホン ヒョウメン カガクカイ
出版者 培風館
出版年月 1999.7


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0114283295549.8/ニホ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810178701
書誌種別 図書
著者名 日本表面科学会/編
出版者 培風館
出版年月 1999.7
ページ数 263p
大きさ 27cm
ISBN10 4-563-03541-6
分類記号 549.8
書名 図解・薄膜技術 
書名ヨミ ズカイ ハクマク ギジュツ
内容紹介 薄膜技術の基本と材料別成長技術について新しい技術や研究成果を折り込み、縦と横の関係から説き明かして技術の本質と全体像をより深く理解できるよう構成する。重要項目ごとに要点をまとめ、図表を多用して解説する。



目次


内容細目

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1999
549.8 549.8
薄膜
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