検索結果書誌詳細

蔵書情報

この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。

所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門)

著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12


この資料に対する操作

カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。

いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。

  

この資料に対する操作

電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。


資料情報

各蔵書資料に関する詳細情報です。

No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館4F開架一般図書7010675211549.8/サト/帯出可在庫 

登録するリストログインメモ


書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000001460208
書誌種別 図書
著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
ISBN10 4-7980-6037-8
ISBN13 978-4-7980-6037-8
分類記号 549.8
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門)
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
第3版
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。



目次


内容細目

この資料に対する操作

カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。

いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。

  

この資料に対する操作

電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。


関連資料

この資料に関連する資料を 同じ著者 出版年 分類 件名 受賞などの切り口でご紹介します。

2019
2019
596.23 596.23 596.23
料理(西洋)-イタリア
前のページへ