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書誌情報サマリ

書名

薄膜作成の基礎 

著者名 麻蒔 立男/著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.7


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0117221680549.8/アサ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810699987
書誌種別 図書
著者名 麻蒔 立男/著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.7
ページ数 13 352p
大きさ 21cm
ISBN10 4-526-05503-4
分類記号 549.8
書名 薄膜作成の基礎 
書名ヨミ ハクマク サクセイ ノ キソ
第4版
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。96年刊に次ぐ第4版。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。現在東京理科大学工学部教授。著書に「真空のはなし」「超微細加工の基礎」など。



目次


内容細目

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