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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)

著者名 岡崎 信次/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
出版者 工業調査会
出版年月 2003.6


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0115028921549.7/オカ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810515496
書誌種別 図書
著者名 岡崎 信次/著   鈴木 章義/著   上野 巧/著
出版者 工業調査会
出版年月 2003.6
ページ数 305p
大きさ 21cm
ISBN10 4-7693-1224-5
分類記号 549.7
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。



目次


内容細目

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