検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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蔵書情報

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No.	所蔵館	配架場所	資料種別	資料番号	請求記号	帯出区分	状態	貸出
1	中央館	４Ｆ開架	一般図書	0118140136	549.7/ﾖｺ/	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード	1009810864382
書誌種別	図書
著者名	横山浩／監修　秋永広幸／編
出版者	オーム社
出版年月	2007.6
ページ数	13 210p
大きさ	21cm
ISBN10	4-274-20415-9
ISBN13	978-4-274-20415-9
分類記号	549.7
書名	電子線リソグラフィ教本
書名ヨミ	デンシセンリソグラフィキョウホン
内容紹介	「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。

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