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書誌情報サマリ

書名

超LSIプロセス制御工学 

著者名 津屋 英樹/著
著者名ヨミ ツヤ ヒデキ
出版者 丸善
出版年月 1995.3


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0113848404549.7/ツヤ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009510020112
書誌種別 図書
著者名 津屋 英樹/著
出版者 丸善
出版年月 1995.3
ページ数 313p
大きさ 22cm
ISBN10 4-621-04047-2
分類記号 549.7
書名 超LSIプロセス制御工学 
書名ヨミ チョウエルエスアイ プロセス セイギョ コウガク
内容紹介 材料・プロセス技術を欠陥制御という観点から述べる。欠陥の本質をおさえた上で、基本的にどんな問題が潜んでいるのか、これまでどう克服されてきたのかを多くの実例を通して解説。材料・プロセス・デバイスの各分野・量産技術に携わる技術者や研究者必携。



目次


内容細目

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