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書誌情報サマリ

書名

トコトンやさしい超微細加工の本 (B&Tブックス)

著者名 麻蒔 立男/著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0116192402549/アサ/帯出可在庫 
2 高橋CC開架分館一般図書0210615607549/アサ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810567045
書誌種別 図書
著者名 麻蒔 立男/著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
ISBN10 4-526-05226-4
分類記号 549
書名 トコトンやさしい超微細加工の本 (B&Tブックス)
書名ヨミ トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。



目次


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2004
549 549
電子工学 ナノテクノロジー
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