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書誌情報サマリ

書名

半導体製造プロセスと材料 (CMCテクニカルライブラリー)

著者名 大見 忠弘/監修
著者名ヨミ オオミ タダヒロ
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2005.10


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0117252932549.8/オオ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810719816
書誌種別 図書
著者名 大見 忠弘/監修
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2005.10
ページ数 5 274p
大きさ 21cm
ISBN10 4-88231-866-0
分類記号 549.8
書名 半導体製造プロセスと材料 (CMCテクニカルライブラリー)
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
内容紹介 大学及び産業界の第一線の研究者30名により、半導体製造に係わるプロセスと技術・材料、それを支える周辺技術を可能な限り網羅。半導体製造に係わるすべての研究開発担当者、企画担当者に役立つ技術書。



目次


内容細目

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2005
549.8 549.8
半導体
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