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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み (図解入門)

著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館4F開架一般図書0118988057549.7/サト/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1000000528750
書誌種別 図書
著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
ISBN10 4-7980-3063-0
ISBN13 978-4-7980-3063-0
分類記号 549.7
書名 よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み (図解入門)
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「半導体の基礎強化書」など。



目次


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2011
549.7 549.7
リソグラフィー 半導体
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