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書誌情報サマリ

書名

図解半導体製造装置開発の極意と実践 

著者名 辻村 学/著
著者名ヨミ ツジムラ マナブ
出版者 工業調査会
出版年月 2008.12


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0118533563549.8/ツジ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1000000137135
書誌種別 図書
著者名 辻村 学/著
出版者 工業調査会
出版年月 2008.12
ページ数 188p
大きさ 21cm
ISBN10 4-7693-1278-9
ISBN13 978-4-7693-1278-9
分類記号 549.8
書名 図解半導体製造装置開発の極意と実践 
書名ヨミ ズカイ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ カイハツ ノ ゴクイ ト ジッセン
副書名 開発型企業で生き抜くための手引書
内容紹介 半導体製造用装置の開発及び事業に携わってきた著者が、30年間の開発の歴史の中で実施した5つの革命技術や、開発の5つのルール、特許と論文の書き方などを伝授する。



目次


内容細目

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2008
549.8 549.8
半導体
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