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書誌情報サマリ

書名

半導体プロセス技術 (半導体工学シリーズ)

著者名 丹呉 浩侑/編
著者名ヨミ タンゴ ヒロユキ
出版者 培風館
出版年月 1998.11


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0114285473549.8/タン/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810088428
書誌種別 図書
著者名 丹呉 浩侑/編
出版者 培風館
出版年月 1998.11
ページ数 325p
大きさ 22cm
ISBN10 4-563-03298-0
分類記号 549.8
書名 半導体プロセス技術 (半導体工学シリーズ)
書名ヨミ ハンドウタイ プロセス ギジュツ
内容紹介 現在のLSIの基幹を成すSi MOS LSIプロセスを中心に記述。MOSトランジスタの基本知識等を概観した後、リソグラフィ、不純物導入技術などからプロセス評価技術まで、個々の要素プロセスの内容を体系的に詳述。



目次


内容細目

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1998
1998
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