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書誌情報サマリ

書名

VLSIプロセス技術 

著者名 小林 稔/著
著者名ヨミ コバヤシ ミノル
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2002.3


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0114976171549.7/コバ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810403116
書誌種別 図書
著者名 小林 稔/著   中島 蕃/著   垂井 康夫/監修
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2002.3
ページ数 169p
大きさ 22cm
ISBN10 4-526-04905-0
分類記号 549.7
書名 VLSIプロセス技術 
書名ヨミ ヴイエルエスアイ プロセス ギジュツ
副書名 高歩留りのための問題点とその解決
第2版
内容紹介 LSI製造プロセス開発で発生するプロセストラブルを主体に具体的事例を系統的に示すとともに、LSIの故障解析技術について現状も含めて解説。製造プロセス技術の評価と検討、後工程についても追加した、93年刊の第2版。
著者紹介 元日本電信電話会社、NEL勤務。工学博士。



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内容細目

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2002
549.7 549.7
集積回路
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