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書誌情報サマリ

書名

半導体のための真空技術入門 

著者名 宇津木 勝/著
著者名ヨミ ウツギ マサル
出版者 工業調査会
出版年月 2007.2


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館4F開架一般図書0117647167549.8/ウツ/帯出可長期未返  ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810833134
書誌種別 図書
著者名 宇津木 勝/著
出版者 工業調査会
出版年月 2007.2
ページ数 219p
大きさ 21cm
ISBN10 4-7693-1262-8
ISBN13 978-4-7693-1262-8
分類記号 549.8
書名 半導体のための真空技術入門 
書名ヨミ ハンドウタイ ノ タメ ノ シンクウ ギジュツ ニュウモン
副書名 現場で役立つ基礎と応用
内容紹介 半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
著者紹介 1954年生まれ。アプライドマテリアルジャパン(株)勤務等を経て、(有)寺子屋みほ設立、取締役就任。半導体関連の技術教育およびコンサルタント業務を行う。



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2007
2007
549.8 549.8
半導体 真空技術
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