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書誌情報サマリ

書名

図解でわかる半導体製造装置 

著者名 菊地 正典/監修
著者名ヨミ キクチ マサノリ
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館4F開架一般図書0117914920549.8/キク/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810847765
書誌種別 図書
著者名 菊地 正典/監修
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4
ページ数 182p
大きさ 21cm
ISBN10 4-534-04217-0
ISBN13 978-4-534-04217-0
分類記号 549.8
書名 図解でわかる半導体製造装置 
書名ヨミ ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
内容紹介 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。



目次


内容細目

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2007
549.8 549.8
半導体
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