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書誌情報サマリ

書名

センサ・マイクロマシン工学 (EE text)

著者名 藤田 博之/編著
著者名ヨミ フジタ ヒロユキ
出版者 オーム社
出版年月 2005.10


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No. 所蔵館 配架場所 資料種別 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 貸出
1 中央館閉架書庫B一般図書0117247149501.22/フジ/帯出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1009810716693
書誌種別 図書
著者名 藤田 博之/編著
出版者 オーム社
出版年月 2005.10
ページ数 8 209p
大きさ 26cm
ISBN10 4-274-20134-1
分類記号 501.22
書名 センサ・マイクロマシン工学 (EE text)
書名ヨミ センサ マイクロマシン コウガク
内容紹介 センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。
著者紹介 東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。工学博士。東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授。



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2005
501.22 501.22
センサ マイクロマシン
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